青岛华旗科技有限公司

青岛华旗科技有限公司（青岛精诚华旗微电子设备有限公司，建于1993年）位于青岛空港工业园，紧邻青岛流亭国际航空港。占地约15000
平方米，建筑面积约21000平方米。
华旗科技为专业的半导体材料、IC器件工艺、新材料工艺（成套）设备及解决方案的高科技研发制造企业。服务于新能源、新材料及环境保护产业。致力于为IC器件、太阳能电池、LED照明、新材料等制造厂家及科研院所提供的工艺设备（含成套设备及解决方案）。工艺(成套）设备包括薄膜、外延、晶体生长、精密真空热处理、配气系统及废气处理等。
核心工艺设备为薄膜工艺：LPCVD、PECVD、氧化扩散系统等。外延：MOCVD（研发型）等。晶体生长：VGF/VB、
HGF/HB等、HVPE、PVT等。精密真空热处理：单室、双室（多室）真空炉、RTP、传统管式炉等。配气系统：气瓶柜/
气瓶架、配气柜、气源柜、阀门箱、二次配管等。SCRUBBER(废气处理)：湿法、湿法 燃烧等。
出色地完成了部分国家863项目（如GaN厚膜生长的HVPE系统、MOCVD系统等）。
通过GB/T19001-200(ISO9001:2000)质量管理体系认证。 [详细介绍]